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激光干涉仪在实际操作上有两种测量方法
  • 发布日期:2020-04-15      浏览次数:52
    •    激光干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量精确度很高,可达1×10。

        激光干涉仪的用途
        1、直线度测量:
        激光干涉仪的直线度测量有两个镜组:测量短程从0.1m至4m及测量长程从1m至30m。就短程而言,距离指的是直线度干涉镜和直线度反射镜之间的距离,即可被测试的轴长。就长程而言,距离指的是激光头和直线度反射镜之间的距离。这两种情况下,激光干涉仪直线度测量的量程都是±2.5mm。直线度干涉镜和反射镜互相匹配成对。因此,不能与其它直线度工具交换要件。每一个直线度干涉镜和反射镜都标明独立的序号。
        a、沿水平轴直线度测量:水平轴直线度检测,将直线度干涉镜安装在激光干涉仪的激光器和直线度反射镜之间。激光器发射出来的光束将穿过直线度干涉镜,此时,光束将被分成两束相同频率的光源,通过直线度反射镜,将两束激光反射汇聚到干涉镜,在返回激光器。通过移动直线度反射镜,两束相同光源的光将会发生干涉。激光器将检测干涉的光波,来确定在直线度干涉镜移动的方向上,会产生多少大的偏差。并记录下偏差值,以供设备安装调试使用。
        b、沿垂直轴直线度测量:垂直轴直线度检测,将引入垂直转向镜,将激光干涉仪水平光束转换成垂直光束,检测原理与水平轴直线度检测相同。
        
        2、线性测量:
        激光干涉仪的线性测量可以检测机床轴的多项精度指标,其中包括定位精度、重复定位精度、反向间隙等。用于线性测量的镜组包括两个线性反射镜和一个线性分光镜。
        激光干涉仪要设置线性测量,将一个线性反射镜连接到具有两个紧螺纹的分光镜上。这个组合要件被称为“线性干涉镜”,可以作为激光束的参考路径。线性干涉镜位于激光器和线性反射镜之间的光束路径,激光器的光束会射入线性干涉镜,再分为两道光束。一道光束(称为参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜。这两道光束回再反射回分光镜,重新汇聚之后返回激光头,其中会有一个探测器监控两道光束间的干涉。
     
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